सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माण की दुनिया में,सतह की गुणवत्ता केवल सौंदर्यशास्त्र के बारे में नहीं है, बल्कि यह कार्य, दीर्घायु और परिशुद्धता के बारे में है. वेफर चक, लेंस माउंट और सटीक गाइड जैसे घटकों को न केवल आयामी सहनशीलता को पूरा करना चाहिए, बल्किअत्यधिक सतह फिनिश आवश्यकताएँ, अक्सर नीचेरा 0.1 माइक्रोन.
नैनोमीटर-स्तर की सतह की फिनिश क्यों मायने रखती है
उच्च प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरण काफी हद तक संपर्क सटीकता और क्लीनरूम अनुकूलता पर निर्भर करते हैं। नैनोमीटर सीमा से अधिक सतह खुरदरापन हो सकता है:
के साथ छेड़ - खानवेफर प्लेसमेंट सटीकता
बढ़ोतरीघर्षण और घिसावगति के दौरान
कारणऑप्टिकल सिग्नल स्कैटर, फोटोलिथोग्राफी को प्रभावित कर रहा है
बनाएंकण जाल, प्रदूषण का खतरा बढ़ रहा है
उदाहरण के लिए, एवेफर स्टेज सपोर्ट रिंगविनिर्देश से ऊपर की सतह खुरदरापन के कारण सूक्ष्म कंपन पैदा हो सकता है, स्थिति सटीकता कम हो सकती है और उपज में गिरावट आ सकती है।
सीएनसी मशीनिंग चुनौती
0.1 माइक्रोन से कम या उसके बराबर रा की सतह फिनिश तक पहुंचना मानक सीएनसी प्रक्रियाओं से कहीं आगे है। पारंपरिक टूलींग और पैरामीटर अक्सर सूक्ष्म {{2}स्क्रैच, मशीनिंग निशान, या अवशिष्ट तनाव {{3}छोड़ देते हैं, जो सेमीकंडक्टर वातावरण में अस्वीकार्य हैं।
नैनोमीटर स्तर की गुणवत्ता के प्रति हमारा दृष्टिकोण
परबिशेन परिशुद्धता, हमने विशेष रूप से सतही संवेदनशील अनुप्रयोगों के लिए मशीनिंग वर्कफ़्लो विकसित किया है:
का उपयोगअति उत्तम अनाज कार्बाइड उपकरणकस्टम ज्यामिति के साथ
पॉलिशिंग पासअंतिम टूलपाथ में एकीकृत किया गया
शीतलक नियंत्रण प्रणालीगर्मी से प्रेरित {{0}सूक्ष्म {1}आंसूओं से बचने के लिए
के साथ समन्वयसीएमएम और सफेद-प्रकाश इंटरफेरोमीटरखुरदरापन सत्यापित करने के लिए
प्रत्येक भाग न केवल आयामी सहनशीलता के लिए, बल्कि बहु-स्तरीय निरीक्षण से गुजरता हैउप-माइक्रोन सतह स्थिरतासभी संपर्क विमानों में।
वास्तविक मामला: मिरर-समाप्त वेफर सपोर्ट प्लेटें
एक ग्राहक को बेहतर सतह फिनिश वाली एल्यूमीनियम वेफर प्लेटों की आवश्यकता होती हैरा 0.05 μm, संपूर्ण स्थिरता में एकसमान। अनुकूलित उच्च गति फिनिशिंग तकनीकों और कस्टम पॉलिशिंग रणनीतियों का उपयोग करते हुए, हमने ईयूवी स्तर क्लीनरूम असेंबली के लिए तैयार विनिर्देशों से अधिक घटकों को वितरित किया।
सरफेस फिनिश को अपने सिस्टम को कमजोर न करने दें
नैनोस्केल पर सतह की अपूर्णता चुपचाप आपके सबसे सटीक तंत्र से समझौता कर सकती है। यदि आपका आवेदन मांग करता हैऑप्टिकल-ग्रेड फ़िनिश, याबेहतर घर्षण प्रदर्शन, हमसे बात करें। हम यह सुनिश्चित करने में मदद करेंगे कि आपके हिस्से दोनों से मिलते होंसहनशीलताऔरबनावट.
