प्रसंस्करण वस्तु का विश्लेषण
सामग्री: ऑप्टिकल ग्रेड क्वार्ट्ज ग्लास
प्रसंस्करण सुविधाएँ: बहु-सतह समोच्च पीस (3 असममित पहलुओं सहित)
मुख्य आयाम: 16×16×10मिमी (त्रुटि ±0.002मिमी)
यह क्वार्ट्ज प्रिज्म, जो केवल एक नाखून के आकार का है, घरेलू उच्च अंत लिथोग्राफी मशीन की ऑप्टिकल प्रणाली का मुख्य प्रकाश {{0}मार्गदर्शक तत्व है। इसकी 8 जटिल घुमावदार सतहों को 99.6% संप्रेषण और नैनोमीटर स्तर की अपवर्तक सटीकता प्राप्त करने की आवश्यकता होती है, और सतह का खुरदरापन सीधे लिथोग्राफी मशीन के एक्सपोज़र रिज़ॉल्यूशन को प्रभावित करता है।
उद्योग के दर्द बिंदु और तकनीकी कठिनाइयाँ
लिथोग्राफी मशीनों के स्थानीयकरण को बढ़ावा देते समय एक ऑप्टिकल प्रौद्योगिकी कंपनी को क्वार्ट्ज प्रिज्म प्रसंस्करण में एक बाधा का सामना करना पड़ा:
पारंपरिक पीसने के दोष: मैनुअल पॉलिशिंग के बाद खुरदरापन अभी भी Sa 120nm तक पहुंचता है, जिसके परिणामस्वरूप 15% प्रकाश प्रकीर्णन हानि होती है
उपकरणों की आयात पर निर्भरता: एक जापानी अल्ट्रा - प्रिसिजन ग्राइंडर की लागत 20 मिलियन युआन से अधिक है, और डिलीवरी की अवधि 18 महीने तक है
उपज संकट: 500 परीक्षण प्रस्तुतियों के पहले बैच में से केवल 32 ही मानकों पर खरे उतरे, जिससे परियोजना की प्रगति में गंभीर गिरावट आई।
"आयातित उपकरण नहीं खरीद सकते, और घरेलू प्रक्रियाएं अच्छी नहीं हैं" की दुविधा ने सीधे तौर पर स्वतंत्र लिथोग्राफी मशीन विकास की प्रक्रिया को अवरुद्ध कर दिया।
बिशनसमाधान' समाधान
ऑप्टिकल घटकों की अत्यधिक परिशुद्धता आवश्यकताओं के जवाब में, बिशेन तकनीकी टीम ने नवीन अनुसंधान और विकास विकसित किया है:
1. अल्ट्रासोनिक वर्टिकल फाइव-एक्सिस लिंकेज प्रोसेसिंग सिस्टम
स्तर गतिशील मुआवजा, 18-अक्ष लिंकेज मशीन टूल्स का सटीक नियंत्रण
3. असममित सतह सीएडी/सीएएम बुद्धिमान प्रोग्रामिंग का मिलान
4. उच्च आवृत्ति वाली अल्ट्रासोनिक सहायता प्राप्त ग्राइंडिंग तकनीक
5. 40kHz अल्ट्रासोनिक कंपन काटने के तनाव को 52% कम कर देता है और क्वार्ट्ज माइक्रोक्रैक से बचाता है
6. डायमंड माइक्रो-पाउडर ग्राइंडिंग व्हील का जीवन 3 गुना बढ़ जाता है
वास्तविक मापा प्रदर्शन छलांग
एक निश्चित प्रकार की घरेलू लिथोग्राफी मशीन प्रिज्म के बड़े पैमाने पर उत्पादन में तीन प्रमुख सफलताएँ हासिल की गई हैं:
1.सतह गुणवत्ताः खुरदरापन सा<70nm (better than ASML supplier standard)
2.प्रसंस्करण दक्षता: एकल कार्य घंटों को 14 घंटे से 3.5 घंटे तक संपीड़ित किया जाता है
3.लागत नियंत्रण: उपकरण निवेश आयातित समाधान का केवल 1/5 है
3,000 उत्पादों के पहले बैच की उपज दर बढ़कर 98.7% हो गई, जिससे ग्राहकों को निर्धारित समय से 6 महीने पहले प्रोटोटाइप की असेंबली पूरी करने में मदद मिली।
के बारे मेंबिशन
बिशनप्रिसिजन टेक्नोलॉजी (2017 में स्थापित) उच्च अंत विनिर्माण के क्षेत्र में "अड़चन" तकनीक को तोड़ने पर केंद्रित है। इसने डोंगगुआन में 7,500 वर्ग मीटर की डिजिटल फैक्ट्री का निर्माण किया है, जो आयातित उपकरण समूहों जैसे पांच {5}एक्सिस लिंकेज मशीनिंग सेंटर और अल्ट्रा{6}प्रिसिजन ऑप्टिकल ग्राइंडर से सुसज्जित है। सेमीकंडक्टर उपकरण, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों और अन्य क्षेत्रों में अल्ट्रासोनिक मशीनिंग और क्रायोजेनिक कटिंग जैसी नवीन तकनीकों को लागू करके, इसने 20 से अधिक घरेलू लिथोग्राफी मशीन उद्योग श्रृंखला कंपनियों के लिए प्रमुख भागों प्रसंस्करण समाधान प्रदान किए हैं, और 500,000 से अधिक सटीक ऑप्टिकल घटकों को वितरित किया है।
