केस स्टडी: क्वार्ट्ज ग्लास सब्सट्रेट प्रसंस्करण में सफलता
प्रसंस्करण वस्तु: फोटोलिथोग्राफी के लिए क्वार्ट्ज ग्लास सब्सट्रेट
विशेष विवरण:
सामग्री: 99.99% उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज ग्लास
प्रसंस्करण सुविधाएँ: डबल-साइडेड C0.2 चैम्बर + वर्टिकल साइड वॉल
सतही आवश्यकताएँ: रा < 150एनएम (मिरर ग्रेड)
DIMENSIONS: 145×145×5.5मिमी±0.01मिमी
उद्योग प्रसंस्करण के दर्द बिंदुओं का विश्लेषण
सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण के मुख्य उपभोग्य सामग्रियों के रूप में, फोटोलिथोग्राफी के लिए क्वार्ट्ज भागों को एक ही समय में तीन सख्त मानकों को पूरा करने की आवश्यकता होती है: सामग्री संप्रेषण> 99.6%, आयामी सहिष्णुता ±10μm, और साइड दीवार खुरदरापन रा <150nm। पारंपरिक प्रसंस्करण विधि ग्राइंडिंग व्हील ग्राइंडिंग प्रक्रिया का उपयोग करती है, जिसमें उद्योग की दो प्रमुख समस्याएं हैं:
दक्षता बाधा: एकल -टुकड़ा प्रसंस्करण में 120 मिनट तक का समय लगता है
सतही दोष: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
उपकरण हानि: साधारण उपकरण का जीवनकाल 50 टुकड़ों से कम होता है
बिशनसमाधान प्रौद्योगिकी नवाचार
क्वार्ट्ज सामग्री की कठोर और भंगुर विशेषताओं को देखते हुए, एक मिश्रितप्रसंस्करण समाधानअपनाया गया है:
• 20kHz अल्ट्रासोनिक परिशुद्धता उत्कीर्णन और मिलिंग प्रणाली
• इंटीग्रल PCD माइक्रो-ब्लेड मिलिंग कटर (किनारे R0.05mm)
• अक्षीय स्तरित काटने की प्रक्रिया (2μm प्रति परत)
मापा प्रसंस्करण लाभों की तुलना
प्रक्रिया सत्यापन और तुलना के माध्यम से, प्रमुख संकेतकों में उल्लेखनीय सुधार हुआ है:
उद्योग अनुप्रयोग मूल्य
इस समाधान ने लिथोग्राफी मशीन भागों के स्थानीयकरण प्रक्रिया में "अड़चन" प्रसंस्करण समस्या को सफलतापूर्वक हल किया, क्वार्ट्ज सब्सट्रेट उत्पादन क्षमता को 10 टुकड़े प्रति दिन से बढ़ाकर 50 टुकड़े कर दिया, और प्रसंस्करण योग्यता दर 63% से 98.5% तक बढ़ा दी। ज़ीस लेजर इंटरफेरोमीटर का पता लगाने के अनुसार, प्रसंस्करण सतह सटीकता पीवी मूल्य है<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
के बारे मेंबिशन
बिशेन परिशुद्धता7,500 वर्ग मीटर की मानकीकृत कार्यशालाओं के साथ सटीक हार्डवेयर भागों के प्रसंस्करण में विशेषज्ञता है, और इसकी सेवाएं एयरोस्पेस, चिकित्सा उपकरण, औद्योगिक रोबोट और अन्य क्षेत्रों को कवर करती हैं। जटिल संरचनात्मक भागों और आईएसओ प्रणाली प्रमाणन को संसाधित करने की क्षमता के साथ, यह ग्राहकों को डिजाइन और विकास से लेकर बड़े पैमाने पर उत्पादन तक पूर्ण प्रक्रिया समाधान प्रदान करता है।
