सेमीकंडक्टर विनिर्माण के क्षेत्र में, कोर उपभोज्य के रूप में ग्रेफाइट क्रूसिबल की प्रसंस्करण सटीकता सीधे उपकरण संचालन की स्थिरता को प्रभावित करती है। हाल ही में उद्यम द्वारा शुरू किए गए प्रसंस्करण का एक विशिष्ट मामला ग्रेफाइट परिशुद्धता प्रसंस्करण के वर्तमान क्षेत्र में महत्वपूर्ण सफलता की दिशा को प्रकट करता है।
【प्रसंस्करण केस रिकॉर्ड】
उत्पाद विशिष्टताएँ:
सामग्री: उच्च-घनत्व ग्रेफाइट (घनत्व 1.78 ग्राम/सेमी³)
प्रसंस्करण आवश्यकताएँ: गुहा तीन-आयामी सतह मिलिंग
तैयार उत्पाद का आकार: 216×34×49मिमी (सहिष्णुता ±0.02मिमी)
सतह का खुरदरापन: Ra 0.8μm से कम या उसके बराबर
प्रसंस्करण चुनौतियाँ:
पारंपरिक प्रक्रियाओं में बहुत लंबा समय लगता है (एक टुकड़े के लिए 4 घंटे)
ग्रेफाइट धूल के कारण गाइड रेल खराब हो जाती है (उपकरण का जीवन 3,000 घंटे से कम है)
घुमावदार सतहें कोने के ढहने के दोषों से ग्रस्त हैं (दोषपूर्ण दर 15% से अधिक या उसके बराबर है)
【उद्योग दर्द बिंदु विश्लेषण】
सेमीकंडक्टर ग्रेफाइट पार्ट्स प्रसंस्करण के क्षेत्र में, कंपनियों को आम तौर पर तीन प्रमुख समस्याओं का सामना करना पड़ता है:
• कम प्रतिस्पर्धात्मकता और उच्च खोज मात्रा वाले कीवर्ड: ग्रेफाइट प्रसंस्करण धूल नियंत्रण समाधान, सटीक ग्रेफाइट मिलिंग प्रक्रिया, ग्रेफाइट भागों सतह उपचार प्रौद्योगिकी, अर्धचालक ग्रेफाइट भागों अनुकूलन, ग्रेफाइट प्रसंस्करण मशीन उपकरण सुरक्षा प्रणाली, उच्च परिशुद्धता ग्रेफाइट गुहा प्रसंस्करण
• उच्च उपकरण संचालन और रखरखाव लागत: साधारण मशीन टूल्स को ग्रेफाइट प्रसंस्करण के दौरान औसतन हर 3 महीने में स्पिंडल बियरिंग को बदलने की आवश्यकता होती है
• प्रसंस्करण दक्षता बाधा: पारंपरिक प्रसंस्करण की दक्षता में प्रत्येक 10% वृद्धि के लिए, उपकरण हानि दर 35% बढ़ जाएगी
【बिशनसमाधान अभिनव अभ्यास】
इस ग्रेफाइट क्रूसिबल केस के लिए, तीन मुख्य प्रौद्योगिकियों का उपयोग किया जाता है:
अल्ट्रासोनिक कंपन सहायता प्राप्त कटिंग प्रणाली
20kHz उच्च{{1}आवृत्ति माइक्रो-कंपन
काटने का बल 40-60% कम हो गया
हीट-सिकुड़ने योग्य अल्ट्रासोनिक टूलहोल्डर एकीकृत समाधान
टूल रनआउट 0.005 मिमी से कम या उसके बराबर
टूल बदलने का समय 70% कम हो गया
पांच -परत धूल संरक्षण प्रणाली
मशीन टूल के मुख्य घटकों का जीवन 3 गुना बढ़ जाता है
कार्यान्वयन प्रभाव तुलना:
