जब सेमीकंडक्टर और फोटोनिक्स उपकरण के लिए भागों के निर्माण की बात आती है, तो यह केवल माइक्रोन के बारे में नहीं है {{0}यह उन सामग्रियों के बारे में भी है जोसीएनसी मशीनिंग को उसकी भौतिक सीमा तक धकेलें. जैसे घटकवेफर चक, प्लाज़्मा कक्ष, औरसंरेखण जुड़नारसे तेजी से बनाये जा रहे हैंअति-कठोर सामग्रीपसंदचीनी मिट्टी की चीज़ें, टंगस्टन कार्बाइड, या कठोर स्टेनलेस स्टील्स।
चुनौती: जब सामग्री वापस लड़ती है
टिकाऊपन, तापीय स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए अल्ट्रा{0}कठोर सामग्रियां आवश्यक हैं, विशेष रूप से उच्च{{1}वैक्यूम और उच्च{2}तापमान वाले अर्धचालक वातावरण में। लेकिन वे बड़ी चुनौतियाँ लाते हैं:
अत्यधिक उच्च काटने वाली ताकतें
तेजी से उपकरण घिसना, यहां तक कि लेपित कार्बाइड या हीरे के औजारों के साथ भी
माइक्रोक्रैकिंगयाथर्मल विरूपणपारंपरिक मशीनिंग के तहत
लेनाउन्नत सिरेमिक घटक, उदाहरण के लिए। सिलिकॉन नाइट्राइड वेफर सपोर्ट रिंग से जुड़े एक प्रोजेक्ट में, सामग्री की कठोरता एचआरए 90 से अधिक हो गई। मानक टूलींग मिनटों में विफल हो गई, और गर्मी के कारण सतह के माइक्रोफ़्रेक्चर हो गए।
पारंपरिक मशीनिंग विफल क्यों होती है?
पारंपरिक मशीनिंग सेटअप इन सामग्रियों के साथ संघर्ष करते हैं क्योंकि:
मानक अंत मिलें कठोरता का सामना नहीं कर सकतीं
उच्च घर्षण से अत्यधिक गर्मी उत्पन्न होती है, जो भाग को विकृत कर देती है या उपकरण के जीवन को कम कर देती है
कंपन या बकबक सिरेमिक या कार्बाइड में भंगुर फ्रैक्चर पैदा करता है
इससे भागों में सहनशीलता बनाए रखना विशेष रूप से कठिन हो जाता हैतंग आयामी बाधाएँ, जैसे ऑप्टिकल लेंस धारक या मेट्रोलॉजी फ़्रेम।
हमारा दृष्टिकोण: टूलपाथ रणनीति + प्रक्रिया इंजीनियरिंग
परबिशेन परिशुद्धता, हम इन हिस्सों को मानक नौकरियों की तरह नहीं मानते हैं। हम:
उपयोगपीसीडी, सीबीएन, और हीरा {{0}लेपित टूलींगअल्ट्रा{{0}कठिन सबस्ट्रेट्स के लिए डिज़ाइन किया गया
आवेदन करनाकम {{0}बल, उच्च{{1}गति काटनेअनुकूलित फ़ीड दरों और रुकने के समय के साथ
कामशीतलक अलगाव या सूखी मशीनिंगजब थर्मल संवेदनशीलता महत्वपूर्ण हो
समाविष्ट-प्रक्रिया निरीक्षण मेंअंतिम पास से पहले दरारें या सतह विसंगतियों को पकड़ने के लिए
वास्तविक -विश्व मामला: उच्च मशीनिंग-शुद्धता वाले सिरेमिक माउंट
एक वैश्विक लिथोग्राफी ओईएम ने हमें मशीनिंग का काम सौंपाकस्टम उच्च-शुद्धता वाले एल्युमिना माउंटसाथ<±5 μm tolerance. Using a controlled micro-cutting strategy, specialized jigs, and multi-pass finishing, we completed the parts with शून्य माइक्रोक्रैकऔर उपकरण का जीवन 30% से अधिक बढ़ाया गया।
कठिन सामग्रियों के लिए निर्मित, उच्च तकनीक में विश्वसनीय
चाहे वह मशीनिंग होआयन प्रत्यारोपण के लिए ज़िरकोनिया भागयाएक्स-रे इमेजिंग सिस्टम के लिए टंगस्टन मिश्र धातु फिक्स्चर, हम दूसरों से बचने वाली चीज़ों से निपटने के लिए आवश्यक विशेषज्ञता, टूलींग और प्रक्रिया नियंत्रण लाते हैं।
