अर्धचालक उपकरण निर्माण के क्षेत्र में, पॉलीसिलिकॉन गेट रिंग्स चिप निर्माण प्रक्रिया में प्रमुख घटक हैं। कोर घटकों के स्थानीयकरण को बढ़ावा देते समय, एक घरेलू अर्धचालक उपकरण निर्माता को एक कठिन प्रसंस्करण समस्या का सामना करना पड़ा - 290 मिमी के व्यास और 45 मिमी की मोटाई के साथ पॉलीसिलिकॉन के छल्ले पर उच्च -सटीक आंतरिक समोच्च पीस और नाली प्रसंस्करण को पूरा करना आवश्यक था, और पारंपरिक प्रक्रियाओं को बड़े पैमाने पर उत्पादन की जरूरतों को पूरा करना मुश्किल था।
Processing पृष्ठभूमि और उद्योग दर्द अंक
A. प्रसंस्करण पृष्ठभूमि
अपने उत्कृष्ट अर्धचालक गुणों के कारण, पॉलीसिलिकॉन का उपयोग व्यापक रूप से गेट संरचनात्मक भागों जैसे कि आयन इम्प्लेंटर्स और ईचर्स में किया जाता है। इस तरह के घटकों को कई पीसिंग प्रक्रियाओं के माध्यम से 7 0% सामग्री को हटाने की आवश्यकता होती है, जबकि यह सुनिश्चित करते हुए कि आंतरिक समोच्च गोलाई 0 से कम या उसके बराबर है।
बी। पारंपरिक प्रसंस्करण की दुविधा
1। पारंपरिक पीसने वाली मशीनों में कम प्रसंस्करण दक्षता होती है, और एक एकल टुकड़ा 8 घंटे से अधिक समय लेता है
2। स्लॉट प्रसंस्करण के दौरान चिपिंग दर 35%के रूप में अधिक है, जिसके परिणामस्वरूप बैच स्क्रैपिंग होती है
3। आंतरिक सर्कल गोलाई विचलन> 0 है। 015 मिमी, जो उपकरण प्लाज्मा वितरण की एकरूपता को प्रभावित करता है
Bishen Solutions: अल्ट्रासोनिक प्रौद्योगिकी + हाई-स्पीड टर्नटेबल सहयोगात्मक संचालन।
पॉलीसिलिकॉन हार्ड और भंगुर सामग्री की प्रसंस्करण विशेषताओं के मद्देनजर, बिशन तकनीकी टीम ने तीन-इन-वन समाधान को अनुकूलित किया:
1। अल्ट्रासोनिक प्रिसिजन उत्कीर्णन और मिलिंग सिस्टम : 20kHz उच्च-आवृत्ति कंपन में कटौती प्रतिरोध को 50% कम कर देता है
2। डीडीआर वर्टिकल हाई-स्पीड टर्नटेबल : 3000rpm ″ 1 ″ सटीकता, नैनो-स्तरीय प्रक्षेपवक्र नियंत्रण प्राप्त करना
3। ढाल समग्र उपकरण समाधान :
हीरे-लेपित उपकरणों का उपयोग किसी न किसी प्रसंस्करण के दौरान तेजी से सामग्री हटाने के लिए किया जाता है
अल्ट्रासोनिक पीसीडी टूल्स को ठीक प्रसंस्करण के लिए स्विच किया जाता है
मापा डेटा उद्योग बेंचमार्क को ताज़ा करता है
ग्राहक उत्पादन लाइन सत्यापन में, बिशन समाधान प्राप्त:
प्रसंस्करण दक्षता में 2.8 गुना बढ़ गया, और एक ही टुकड़े का प्रसंस्करण समय 2.8 घंटे तक संकुचित हो गया
स्लॉट की चिपिंग दर 35 % से कम हो गई थी 0। 5 % या उससे कम
आंतरिक सर्कल गोलाई को 0 पर नियंत्रित किया जाता है। 003-0 005 मिमी।
सतह खुरदरापन 0 से कम या बराबर है। 4μm, जो आयातित उपकरणों के प्रसंस्करण स्तर से बेहतर है
इस सफलता ने ग्राहकों के पॉलीसिलिकॉन गेट रिंग्स की बड़े पैमाने पर उत्पादन योग्यता दर को 61% से बढ़ाकर 98.7% कर दिया है, सफलतापूर्वक आयातित भागों को बदल दिया है।
के बारे मेंबिशन
बिशनसेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक और अन्य उद्योगों में "नेक-स्टक" प्रसंस्करण समस्याओं को हल करने पर ध्यान केंद्रित करते हुए, दस से अधिक वर्षों से सटीक निर्माण के क्षेत्र में गहराई से शामिल रहा है। कंपनी का 7,500 वर्ग मीटर का स्मार्ट फैक्ट्री कोर टेक्नोलॉजी मॉड्यूल जैसे कि अल्ट्रासोनिक असिस्टेड प्रोसेसिंग और फाइव-एक्सिस लिंकेज से लैस है। इसने 20 से अधिक घरेलू अर्धचालक उपकरण निर्माताओं के लिए प्रमुख भागों प्रसंस्करण समाधान प्रदान किए हैं। प्रासंगिक प्रौद्योगिकियों ने ISO9001 और सेमीकंडक्टर उपकरण विशेष प्रमाणन पारित किया है, और उच्च अंत विनिर्माण उपकरण स्वतंत्रता की प्रक्रिया में मदद करना जारी रखते हैं।
